田丰裕看了看顾一诺，又看了看江一山，再起竖起大拇指，感慨道：“真的是后生可畏啊，厉害，老头子我是服气了。”

说完又急忙道：“你们继续说，把你们的想法都说出来。”

顾一诺点点头，道：“我们认为，想要做到这一步，主要还是两个技术难点，一个是合格的远心镜头，另外一个就是自动化平台，因为倍缩之后，只能曝光硅片的局部区域，必须要不断的移动硅片，这就需要高精度的自动化平台。”

田丰裕认真的思索了一下，道：“没错，这两个的确是大问题，远心镜头的话，你们可以找一找达菲，他们在光学研究这一块儿，真的是很不错。”

“还有这个自动化平台，涉及到一个精度，还有测距定位的问题。”

“你们可以联系了一下4所，他们在自动化领域，是世界最顶级的水平。”

“我认为，你们可以先使用高精度伺服电机来制作自动化平台，后期可以再使用气悬浮，磁悬浮来做，这些概念，4所已经提出来了，如果研究出来，精度只会更高。“

“测量定位这一块儿，可以使用激光干涉仪和光栅尺来控制，应该可以达到设计的要求。”

对于国内技术发展，田丰裕非常清楚，立刻想到哪一家研究所可以解决江一山这边的问题。

顿了一下，田丰裕又道：“光刻机的发展非常重要，这样，我帮你们联系一下4所，他们所长跟我是老朋友了，我让他们想办法给你们做这个自动化平台。”

江一山连忙道：“太感谢您了田老。”

自动化平台这个事儿，江一山本来是想找何俊平帮忙的。

如今田丰裕帮忙，那是更好不过。

今天的参观可以说是非常圆满。

中午，江一山还想留何俊平两人吃饭。

但是被两人拒绝了。

都是领导，都是大忙人，哪有那么多时间。

临走时，何俊平让田丰裕先上车，然后拉着江一山来到旁边。

先是拍了拍江一山肩膀，然后笑着道：“一山，这一次你真的是让我很意外，很惊喜，我可是很少见到田老这么夸奖一个人，你们做的这个投影式光刻机，真的很不错，意义也很大。”

就两个人，江一山道：“何叔，既然田老都说我们好，还帮着我们联系了4所搞自动化平台，您这边难道就不支持一下嘛。”

何俊平微微一愣，立刻明白了江一山的意思。