“这是个不错的提议。”

那名光学研究中心主任眼前一亮，频频点头：“从理论上来说，这几种方法，完全解决了现在的难题。”

说着，主任话锋一转继续道：“小杨，我看你黑板上，绘制了曝光系统，这个曝光系统，又是怎么运作？”

杨玄所绘制的图，是按照十几年后的光刻机进行拆分的。

对于现在的科研人员而言，绝对是极其超前的。

甚至，连设计概念都未曾想过。

“基于科益虹源目前所研发的激光器光源，我进行了曝光系统的这份设计。”

杨玄说着，手持粉笔在黑板圈上重点：“按照光源下一步将设计的4的光，被收集后，通过几个反射镜形成所需要的光照方式并照射在掩模上。”

“掩模同样设计成反射式的，从掩模反射出的光包含了掩模上的图形信息，这些带有信息的光通过另一组反射镜投影在晶圆上实现曝光。”

话音落下，杨玄快速走到黑板空白区域，再次绘图。

关于曝光系统的运行设计，从光照系统、掩膜工作台、到晶圆工作台，概括为投影光学系统。

另一组，光源与收集器，以及激光器所投射出来的光，形成中间汇聚点。

完成一系列操作，杨玄转过身，面向众人，继续介绍。

“在光刻机中，通过使用个反射镜实现了4的数值孔径，但若要提升数值孔径就需要增加更多的反射镜，比如将反射镜增加到个便可将数值孔径提升到4。”

“另外通过增加非球面度可进一步提高成像质量，减少波前误差；通过降低面型粗糙度可降低杂散光，提高对比度等。”

偌大的会场内，安静极了。

几百名老中青科研人员均是一脸沉思状，末了，不少人纷纷埋头伏案，快速将杨玄的所讲记录下来。

“小杨……”

科学院主管半导体的副院长询问道：“你这lpp光学系统的结构，蕴含了驱动激光器、光束传递、以及真空腔系统的，能详细说下这三个部分吗？”

“好，我接着说这三个。”

杨玄颔了颔首道：“驱动激光系统包含激光器和预脉冲激光器，其中激光器是一套主振功率放大(MPA)系统。”

“该主振荡器包含多个量子级联激光器，一套再生放大器，和一套基于射频放电激发、平板波导和多程放大器的后置放大系统。”

“预脉冲激光和激光束在光束传输系统中被混合起来，并通过真空