于国家的情怀,还是个人角度,杨玄真不敢卖弄。
人家兢兢业业一辈子,任劳任怨,毕生都在为国奉献。
而自己,重活一世罢了。
境界高度,相差太远。
哪怕身价几千亿,都不如这些国之功勋。
“好!好!小杨,你继续说就行了……”
吴德欣老教授带着近视镜,满脸慈祥的挥挥手,示意杨玄放松。
数百名科学院人才聚集在偌大的讲课场地内,头顶上的白炽灯多出来了十几根,光线明亮。
墙壁上的黑板,要比上次杨玄来时,扩大了许多。
一些上了年纪的教授专家,坐在最前排,年轻的向后站。
渐渐地。
整个场合安静下来,所有人将静静看着讲台上的杨玄,看着他手持粉笔,快速在黑板上绘图。
前面说过,光刻机的工序非常复杂。
其中不仅仅是激光器是核心技术,运载系统、激光系统、传感器、光学系统等其他几个方面,同样也是核心技术。
准分子激光器,只是基于其他技术达不到的情况下,作为杀手锏的存在。
但现在,杨玄希望,国产的激光器,最好所有环节配件都是自主研发。
连续用完两根粉笔,杨玄才将一台光刻机,解剖式的绘制在黑板上。
将里面的几个大型配件,逐一陈列分散开来。
“诸位老师,何兰的ASML,正在研发新一代的光刻机,既i型号。”
“但据我所知,i型光刻机,同样还是沿用了arf光波,只是提高了激光切割尺寸。”
“也就是说,他们原来的配件并没有变化,只是将准分子激光器的功率提高了。”
“但ASML未来的光刻机,既uv光刻机,就是我黑板上画的这个样子……”
说着,杨玄从第一个开始讲起:“除激光技术之外,还有六大核心技术。”
“架构设计:与光学光刻公用平台,针对真空腔与反射式曝光系统开展系统设计。”
“全反射,非共轴光学系统。”
“高速、高精度运动台与控制技术。”
“大功率、高可靠性光源。”
“传输过渡腔体、控制污染与颗粒进入主真空腔。”
“传感器真空兼容性设计。”
“高真空性环境下的研究:既密封性设计、材料抑制释放污染。”
来科学院之前,杨玄没有准备相关的设计方案。